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半導體等離子設備系列
恒格微波等離子去膠機PSSD2000(PR Ashing)--芯片級
1、微波系統無損傳輸至腔體遠端形成等高密度離子體,等離子隨著真空泵抽離氣體形成的氣流,均勻流動到腔室內,并與加熱的晶圓表面光刻膠均勻反應;2、微波等離子體自偏壓低,等相刻蝕效果好,同時重型粒子轟擊、濺射和注入效應小,最低限度造成光刻膠去除同時對基材的損傷。適用在晶圓基各種工藝生產制造中,如集成電路、...
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