以人為本，實事求是

相對于中國在等離子蝕刻機上，珠海恒格電子科技有限公司的等離子蝕刻清洗設備，不僅可以滿足中國企業的需求，還能夠進入國際市場上與應用材料等國際巨頭一爭長短.而這背后，是一群科技人才耗費十多年時間持之以恒的付出和努力換來的成績。

十年磨一劍技術應用比國外優勢

腔體采用航空鋁合金，無縫焊接，真空泄漏率小于20mt/min，可以更好保證均勻性。

電極采用一體成形工藝（無縫焊接），電極升溫效率高20%，咬蝕均勻。

真空泵組全方位多重保護系統（過流，過載，超溫保護）。

電極和RF電源/真空泵組采用獨立冷卻系統，確保設備穩定性和延長設備使用壽命。

標配四路、最多五路氣體配置。

氦氣氧氣軟件防保設備，氣體流量&壓力報警裝置系統。


德國工業電路安裝設計標準

冷卻水和氣體流量實時監控系統（HENGER專利）

PLC-人機操作軟件，簡單使用，數據動作實時記錄，永久存儲，分級用戶權限管理。

Barcode掃描系統（選配功能）

恒格等離子VS國外品牌等離子

恒格等離子其它優勢

腔體內可拆卸面板：保護腔體，便于清洗，提高效率，提高咬蝕均勻性。

我們的愿景

做中國最好的“等離子體工業應用”民族品牌

立足中國   面向世界。